ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標準

GB/T11164—2011

代替

GB/T11164—1999

真空鍍膜設備通用技術條件

Vacuumcoatingplantgenericspecification

2011-11-21發布2012-06-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T11164—2011

目次

前言…………………………

Ⅰ

范圍………………………

11

規范性引用文件…………………………

21

術語和定義………………

31

技術要求…………………

42

試驗方法…………………

54

檢驗規則…………………

65

標志包裝運輸貯存……………………

7、、、5

GB/T11164—2011

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替真空鍍膜設備通用技術條件與相比主要變

GB/T11164—1999《》,GB/T11164—1999

化如下

:

為使用方便增加了目次

———;

修改了中真空鍍膜設備的壓力范圍由-4-3修改為-5

———GB/T11164—1999,10Pa~10Pa10Pa~

-3

10Pa;

修改了表中鍍膜室尺寸分檔增加了

———GB/T11164—19991,300、400、450、1100、1350、2200、

十檔尺寸并對帶號尺寸優先選用進行了調整

2400、2500、2600、3200,“*”;

修改了表中鍍膜設備的分檔增加了檔鍍膜設備并增加或修改了各

———GB/T11164—19991,C,

檔鍍膜設備的極限壓力抽氣時間及升壓率指標

、;

因中部分規范性引用文件已修訂故本標準引用現行標準

———GB/T11164—1999,;

修改了的用表格的方式規定了設備配套的電器裝置中各電氣回路

———GB/T11164—19994.4.6,

的絕緣電阻值

;

修改了的及增加了安全防護內容

———GB/T11164—19994.5.44.5.12,。

本標準由中國機械工業聯合會提出

。

本標準由全國真空技術標準化技術委員會歸口

(SAC/TC18)。

本標準負責起草單位北京北儀創新真空技術有限責任公司

:。

本標準參加起草單位上海曙光機械制造廠有限公司蘭州真空設備有限責任公司成都南光機器

:、、

有限公司中國航天科技集團第五研究院第研究所上海惠豐石油化工有限公司沈陽真空技術研

、510、、

究所

。

本標準主要起草人陳月增謝鈞榮范立群孫凱溫發蘭靳毅劉強惠進德王學智

:、、、、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發布情況為

:

———GB/T11164—1989、GB/T11164—1999。

Ⅰ

GB/T11164—2011

真空鍍膜設備通用技術條件

1范圍

本標準規定了真空鍍膜設備的技術要求試驗方法檢驗規則及標志包裝運輸和貯存等要求

、、、、。

本標準適用于壓力在-5-3范圍的真空蒸發類濺射類離子鍍類真空鍍膜設備以下

10Pa~10Pa、、(

簡稱設備

)。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191—2008

真空技術術語

GB/T3163—2007

機械電氣安全機械電氣設備第部分通用技術條件

GB5226.1—20081:

真空技術法蘭尺寸

GB/T6070—2007

標牌

GB/T13306—2011

機電產品包裝通用技術條件

GB/T13384—2008

電能質量電力系統頻率偏差

GB/T15945—2008

機械電氣安全指示標志和操作第部分關于視覺聽覺和觸覺信號的

GB18209.1—2010、1:、

要求

真空設備型號編制方法

JB/T7673

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T3163—2007。

31

.

極限壓力ultimatepressure

泵在工作時空載干燥的真空容器逐漸接近達到并維持穩定的最低壓力

,、