制三課鍍膜徐名泉

鍍膜機基礎知識日本RAS-1100機臺龍翩LP系列

鍍膜機可分為五大系統

一、真空系統二、控制系統三、膜厚系統（監控系統）四、蒸鍍系統五、輔助系統一、真空系統工作原理：真空繫統主要是利用壓強原理進行排氣工作。是通過（RPMPDp）的工作來進行壓強原理來排氣工作。

真空系統簡單排氣圖有上圖可知：真空系統由RP、DP、MV、FV、LV、RV、RLV及連接管組成真空是由各級泵浦的運轉工作完成的、抽氣可分為兩個過程。既：A：初抽：真空室－RV－MP－RP－大氣中B：主抽：真空室－MV－DP－FV－MP－RP－大氣中另外，初抽可分為兩個階段，既：A：真空室－RV－PBV－RP－大氣中B：真空室－RV－MP－RP－大氣中初抽主要是機械泵的工作，它利用壓強原理來達到抽氣的功能。真空系統有以下組成：RP（機械泵浦）

MP（輔助泵浦）

DP（擴散泵浦）RP（機械泵浦）工作原理：是靠改變氣缸的體積完成吸氣與排氣工作，氣體被分成兩部分。轉子並非繞著圓心鏇轉，這使吸氣鍴的體積不斷變化。吸氣壓縮與排氣過程是同時進行的，隨著轉子的不斷鏇轉，泵體的兩部分體積的變化。當排氣鍴壓力大于排氣口彈簧的壓力時，空氣分子不斷經RP排到大氣中。注意：，RP內壁一定要保持清潔、光滑當機械泵浦裏麵有很多雜質或潤滑油的粘稠度的，否則，轉子很容易磨損，吸氣鍴子與排氣鍴不能完全隔離，造成RP排氣性能降低，RP性能差就是轉子不能與RP內壁完全吻閤，所以，泵浦油用到一定時間后要全部更換。RP油起著潤滑、冷卻與密封的作用，油位不能低于吸口的高度。在工作中要經常去確認RP油的油位，否則會造成機械泵浦燒壞的后果。MP（輔助泵浦）工作原理：是增大兩耑的壓力差使排氣速度加快。它用于初抽與精抽，最大壓力可達到10－4Torr。泵體內部使兩各8字型的轉子，兩個轉子緊密配閤在 一起，轉子與轉子、轉子與泵體之間隻有0.2～0.3mm的極小空隙。MP:分解圖旋片式真空泵工作原理

：旋片式真空泵（簡稱旋片泵）是一種油封式機械真空泵。其工作壓強范圍為101325~1.33×10-2（Pa）屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和科研部門。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體，若附有氣鎮裝置，還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。

旋片式真空泵工作原理

：旋片泵的抽速與入口壓強的關系規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。

旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。

兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉，達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。

DP（擴散泵）圖：水冷套；2.噴油嘴；3.導流管；4.泵殼；5.加熱器