1、13特種氣體系統驗收6.1 一般規定特種氣體系統驗收包括設備驗收、管路系統驗收和氣體偵測/監控系統驗收等。6.2 設備驗收6.2.1 機械面板驗收1 .外觀和流程檢驗對照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設計參數進行檢驗，包括管道橫平豎直、焊接質量合格、調節閥規格和流向、氣動/手動閥門規格和流向、單向閥規格和流向、微漏閥規格和流向、壓力變送器/壓力表規格、過濾器規格、過流開關規格和安裝方向、安全閥流向和設定壓力、VC譚否鎖緊、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險標簽等。2 .儀器測試檢查出廠各項儀器測試報告，包括保壓、氨檢、顆粒度、水分、氧分等測試。參見管路系統驗收章節。6.

2、2.2 控制系統驗收根據控制邏輯，檢查各監測和聯動部件的功能，包括壓力傳感器、電子秤、過流開關（EFS）、高溫開關、火焰偵測器（UV/IR）、負壓開關、緊急切斷（EMO）輸入電源、輸入輸出信號、接地保護、功能聯動測試等。6.3 管路系統驗收施工單位應通過其質檢人員對施工質量進行檢驗。建設單位或其授權機構，應通過其質檢人員對施工質量進行監督和檢查。6.3.1 外觀與文件檢驗1 .對照流程圖，檢查管件的安裝位置和方向。2 .檢查焊接管道是否有裂縫，特別是彎管處；3.檢查管道對焊是否符合下列規定:序號檢查內容指標1凹陷度<10嘴壁厚2凸起度<10嘴壁厚3錯邊量<10嘴壁厚4焊縫寬度

3、管壁厚<寬度<3倍管壁厚5色澤無明顯變色6焊縫偏斜度<20麻縫寬度4 .檢查管道組成件的質量文件；5 .檢查施工過程中的焊樣、焊接日志。6.3.2壓力試驗1 .管道安裝完畢，外觀檢驗合格后，必須進行壓力試驗。為了避免污染，高純系統壓力測試采用氣壓試驗，不可采用水壓試驗，不得使用檢漏液。試驗氣體應采用高純氮氣或鼠氣，不可采用氨氣。在進行系統保壓之前請確認完成管道吹掃，避免鐵屑污染閥門及管道。吹掃需采用大壓力大流量的氣源（5kg/cm2以上）進行循環吹掃；2 .壓力試驗前應確保焊縫及其他待檢部位尚未涂漆和絕熱，待試管道與無關系統已用盲板或采取其他措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破

4、板及儀表元件等已經拆下或加以隔離；3 .試驗用壓力表已經校驗，并在周檢期內。試驗用壓力表，直徑應大于150mm對于低壓（<150psig）,要求刻度為1psi;對于高壓（>500psig）,刻度可采用5psi的刻度；4 .壓力測試分耐壓測試和保壓測試兩種。耐壓測試采用設計壓力的115%時間30分鐘。保壓測試采用設計壓力的90%時間24小時；特氣系統的測試壓力最高不超過2,000psig.5 .保壓過程應記錄起止溫度。考慮溫度修正后，壓降值不得超過1%Pc=(P1+Patm)x(T2)/(Ti)-Patm和：dP=Pc-P2此處，P1=初始表壓P2=最終表壓Pc=溫度校正最終表壓Pa

5、tm=大氣壓力，通常為1.01bara(14.7psia)dP=溫度校正后的壓差T1=初始周圍溫度K(=C+273.15)T2=最終周圍溫度K(=C+273.15)6 .建設單位應參加壓力試驗。壓力試驗合格后，應和施工單位一同填寫“管道系統壓力試驗記錄”，包括；所測系統名稱、測試日期所測系統管道直徑和長度測試開始時間、終止時間和總歷經時間壓力和溫度數據儀器校驗報告7 .壓力測試目的和程序見附件(條文說明)；6.3.3氨測漏1 .特氣系統壓力試驗完成后，考慮到安全和純度的要求，必須進行氨測漏；2 .所有可能泄漏點需要用塑料袋隔離；3 .氨測漏應采用質譜式檢測儀，其檢測下限不低于1x10-10at

6、m.cc/sec;4 .氨測漏包括內漏（Inboard）測試、閥座（Crossseat）測試和外漏（Outboard）測試；特氣系統通常采用內漏測試法；5 .內漏測試（噴氨法）不得高于1x10-9atm.cc/sec6 ,閥座測試不得高于1x10-6atm.cc/sec7 .外漏測試（吸槍法）不得高于1x10-6atm.cc/sec8 .氮測漏的測試順序為：內漏法、閥座測試、外漏法；9 .檢測漏點修補后，必須重新經過保壓測試，然后才能再進行氨檢；10 .系統測試完畢，應充入高純氮氣或鼠氣，并維持1-5slpm的吹掃;11 .氨測試完畢后，應提交測試報告，包括：所測系統名稱、測試日期所測系統管道

7、直徑和長度、檢測點數量測試開始時間、各點噴氨時間、終止時間、泄漏峰值時間背景氨漏率和峰值氮漏率測漏儀器序列號儀器校驗報告6.3.4顆粒測試1 .為了保證特氣管路純度，系統應進行顆粒測試；2 .特氣系統顆粒測試時，吹掃氣體的雷諾數應大于10,000（2”及以下管道）；外徑（英寸）氣體流量slpm(scfh)雷諾數1/435(70)10,0003/850(100)10,0001/275(150)10,0003/4120(240)10,0001170(340)10,0001-1/2260(520)10,0002270(540)7,5003280(560)5,0004370(740)5,0006450

8、(900)4,0003 .應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；4 .測試指標：大于0.1微米的顆粒小于等于1顆/立方英尺；連續3次合格則測試完成；5 .不合格系統吹掃后應在6小時內完成第二次測試。6 .顆粒測試完畢后，應提交測試報告，包括：所測系統名稱、測試日期、測試時間所測系統管道直徑和長度吹掃氣體壓力和流量取樣點位置和顆粒度等級儀器序列號儀器校驗報告6.3.4 水分測試1 .為了保證特氣管路純度，系統應進行水分測試；2 .特氣管道測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%且小于50slpm;3 .應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；4 .測試指標：20ppbv,測試氣體水分增量；

9、5 .測試結果達到后，數值需保持穩定或下降趨勢20分鐘后，測試結束;6 .不合格系統吹掃后，應在12小時內完成第二次測試；7 .水分測試完畢后，應提交測試報告，包括：所測系統名稱、測試日期、測試時間吹掃氣體壓力和流量取樣點位置和水分等級儀器序列號儀器校驗報告6.3.5 氧分測試1 .為了保證特氣管路純度，系統應進行氧分測試；2 .特氣管道測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%且小于50slpm;3 .應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；4 .測試指標：20ppbv,測試氣體氧分增量；5 .測試結果達到后，數值需保持穩定或下降趨勢20分鐘后，測試結束；6 .不合格系統吹掃后，應在12小時內完成第二次測試；7 .氧分測試完畢后，應提交測試報告，包括：所測系統名稱、測試日期、測試時間吹掃氣體壓力和流量取樣點位置和氧分等級儀器序列號儀器校驗報告6.4氣體偵測/監控系統驗收6.4.1 氣體偵測器對照設計文件檢查氣體偵測器的類型、報警設定值（應小于TLV-TWA）探頭標定時間、安裝位置、數量、排放管道、電源信號接線、出廠質量文件等。對所有偵測器的輸出信號應進行模擬測試。6.4.2 系統檢查1 .對照設計文件，檢查內存和