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1、精選文檔平面度與光波帶的關系引用一本書上的內容:1)依據干涉條紋計算平面度誤差測量時若消滅向一個方向彎曲的干涉條紋，如圖所示，調整平晶位置，使之消滅35條干涉帶，則平面度誤差的近似值為：f= (v/)×(/2)為光波波長，白光的平均波長為0.58m,為干涉帶彎曲量，為干涉帶間距但是如何精確確定和的值,我也很迷惑!2）依據光圈計算平面度誤差若被測平面凹或凸，則會消滅環形干涉帶，調整平晶的位置，使干涉帶數為最少，則平面度誤差的近似值為：f(/2) ×n為光波波長，白光的平均波長為0.58m；n為平晶直徑方向上的光圈數示意圖如下 本帖最終由 duomeiti 于 2008-6-2
2、7 16:55 編輯 2008/6/27 00:04平晶具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都微小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光滑表面的平面度誤差，圖1a為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光滑表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差（圖1b）。平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.030.05微米；2級精度的為0.1
3、微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。平晶-正文 具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都微小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光滑表面的平面度誤差，圖1a為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光滑表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差（圖1b）。平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45150毫米。其光學測量平面的平
4、面度誤差為:1級精度的為0.030.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。 平晶 平晶平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的，故其測量方法稱為平晶干涉法（圖2）,也稱技術光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 ，以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P發生干涉而消滅明或暗的干涉條紋。若在白光下，則消滅彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行,且分布均勻,則表示被測表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲，則表
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