1、真空管生產流程真空管廠工藝科2015.08.131 全稱：全玻璃真空太陽集熱管全稱：全玻璃真空太陽集熱管2 結構及材料結構及材料內外管材料卡子吸氣劑真空夾層選擇性吸收涂層吸氣膜全 玻 璃 真 空 太 陽 集 熱 管 示 意 圖 ： 罩玻璃管 內玻璃管 卡子 吸氣劑 真空夾層 選擇性吸收涂層 吸氣膜 內外管材料：高硼硅內外管材料：高硼硅 3.3玻玻 璃璃 特特 性性 ： 具有良好的化學穩定性，抗酸堿水；具有良好的化學穩定性，抗酸堿水； 具有良好的熱穩定性，具有良好的熱穩定性，膨脹系數膨脹系數3.310-6K 具有良好的光學性能，透光率具有良好的光學性能，透光率 0.89； 具有良好的機械性能。具

2、有良好的機械性能。 再加工中不變色。再加工中不變色。n注：真空管可以承受注：真空管可以承受25mm的冰雹打擊。的冰雹打擊。材料：不銹鋼材料：不銹鋼 ；作用：作用：支撐內管自由端；支撐內管自由端； 固定吸氣劑。固定吸氣劑。材料：不銹鋼鋼環、鐵柄及藥粉組成，材料：不銹鋼鋼環、鐵柄及藥粉組成， 藥粉成分有藥粉成分有Ba、Al、Ni。類型：蒸散型吸氣劑類型：蒸散型吸氣劑卡卡 子子 吸氣劑吸氣劑真空夾層：由內外管組成的真空夾層，壓強真空夾層：由內外管組成的真空夾層，壓強P 5.0E-2Pa5.0E-2Pa，具有保溫隔熱作用。具有保溫隔熱作用。選擇性吸收涂層：選擇性吸收涂層：是在直流磁控濺射下得到的。是在

3、直流磁控濺射下得到的。吸氣膜：是由吸氣劑在吸氣膜：是由吸氣劑在800 以上溫度下蒸以上溫度下蒸散得到的產物。散得到的產物。三三. 工藝流程及分解說明工藝流程及分解說明檢驗裝箱罩玻璃管切齊一端燒圓頭清洗烘干退火內玻璃管切齊一端燒圓頭退火內玻璃管外表面沉積太陽選擇性吸收表面清洗烘干彈簧卡子清洗烘干點焊成形裝配點焊吸氣劑罩玻璃管、吸熱管和帶吸氣劑的卡子組裝罩玻璃管與吸熱管開口端環形熔封封離排氣嘴真空烘烤排氣環形封口端退火蒸散吸氣劑接排氣嘴 將兩端參差不齊的毛管一端切齊；燎口將兩端參差不齊的毛管一端切齊；燎口；原理：熱脹冷縮，液體的表面張力。原理：熱脹冷縮，液體的表面張力。 按要求尺寸將一端切齊口的半

4、成品圓底按要求尺寸將一端切齊口的半成品圓底； 將圓好頭的半成品接排氣嘴；將圓好頭的半成品接排氣嘴； 接好排氣嘴半成品加工部位退火。接好排氣嘴半成品加工部位退火。分解說明（一）分解說明（一） 將兩端參差不齊毛管一端圓頭；將兩端參差不齊毛管一端圓頭； 按要求尺寸去掉另一端；按要求尺寸去掉另一端； 將圓頭部位退火。將圓頭部位退火。分解說明（二）分解說明（二）將半成品、進行超聲波清洗將半成品、進行超聲波清洗,將將表面污著物清除掉表面污著物清除掉,然后經過自來水然后經過自來水和去離子水沖洗和去離子水沖洗,最后進行高溫烘干最后進行高溫烘干處理。處理。 分解說明（三）分解說明（三）分解說明（四）分解說明（四

5、） 將烘干后內管將烘干后內管, ,裝配到真空室內裝配到真空室內, ,在真空狀態下在真空狀態下, ,磁控濺射鍍膜磁控濺射鍍膜, ,在內在內管外表面形成選擇吸收涂層；管外表面形成選擇吸收涂層； 將罩管與彈簧卡子進行裝配；將罩管與彈簧卡子進行裝配； 將鍍好膜內管與外管裝配。將鍍好膜內管與外管裝配。 封口：將管口部位在火頭上旋轉，內外管燒熔后完全熔封封口：將管口部位在火頭上旋轉，內外管燒熔后完全熔封 成為成為 分解說明（五）分解說明（五）排氣排氣 ：將封完口后的半成：將封完口后的半成品真空管在排氣臺抽真空加品真空管在排氣臺抽真空加熱；將夾層氣體玻璃氣體經熱；將夾層氣體玻璃氣體經過過4000C（或或43

6、0）高溫，）高溫，43（或（或63）分鐘將夾層內氣）分鐘將夾層內氣體和玻璃內氣體排除后，封體和玻璃內氣體排除后，封離為：離為：分解說明（六）分解說明（六）封離真空度為1.010-3Pa分解說明（七）分解說明（七）排氣后管內仍存在少量氣體和玻璃在使用過程仍放氣，排氣后管內仍存在少量氣體和玻璃在使用過程仍放氣，在真空中可以采用蒸散型吸氣劑，蒸發吸取夾層內剩在真空中可以采用蒸散型吸氣劑，蒸發吸取夾層內剩余氣體和管在使用過程所產生的氣體以保證真空管壽余氣體和管在使用過程所產生的氣體以保證真空管壽命，烘烤后命，烘烤后烤消原理：烤消原理：渦流加熱原理，即在高頻交流電產生的磁場使處渦流加熱原理，即在高頻交流電產生的磁場使處于磁場內部的金屬內部產生環行電流，產生大的于磁場內部的金屬內部產生環行電流，產生大的電流，進而產生熱量，使金屬升溫。電流，進而產生熱