1、附件分包一 AFM/MFM掃描 / 掃面探針顯微系統 1套招標參數一掃描探針顯微鏡 基本配置含掃描隧道、原子力、橫向力、接觸模式、輕敲模式、相移成像模式、環境檢測包括： 1、CSPM5500型探頭2、CSPM5500型主控機箱3、計算機系統DELL ，奔騰 D 雙核處理器， 160 GB HD ， 1G 內存， 16X DVD-ROM， 19"液晶顯示器4、控制軟件和后處理軟件（ for Windows XP/Vista版）5、1.5um× 1.5um 掃描器和 15um× 15um掃描器6、STM探針架7、AFM/LFM探針架8、原子力微懸臂探針20 枚（接觸和

2、輕敲各10 枚）9、掃描隧道顯微鏡探針用 0.25 鉑銥絲 50cm10、樣品臺10 枚磁性 /非磁性樣品臺各 10 枚，直徑： 12.5mm ；厚度： 1.5mm 11、內置環境溫度、濕度實時檢測系統12、兩級可讀數樣品調節機構13、懸掛隔振系統14、專用便攜式工具箱（包括工具組）15、CSPM系列用戶手冊二掃面探針顯微鏡功能模塊1.磁力顯微鏡（ MFM ）包括 :磁力顯微鏡硬件模塊、抬起模式、磁性探針2.加熱臺系統10 枚臺面直徑30mm,加熱功率0 6W,加熱溫度：室溫250 ,控制精度0.53.納米加工模塊包括 :圖形化刻蝕模式、壓痕/機械刻畫、矢量掃描模式4.導電原子力顯微鏡（CAF

3、M ）模塊包括：導電原子力顯微鏡硬件模塊5.壓電力顯微鏡（PFM）模塊包括：鎖相放大器、內建純正弦信號發生器、PFM 探針 10 枚6.精密隔振平臺（包含無油靜音氣泵）規格： 900（寬）× 600（長）× 800（高）/ 四支撐氣墊， M6 螺孔陣距25，限載7.數字化光學顯微鏡系統,放大倍數： 89-623 連續可調（ 14”有效顯示面積） ，工作距離包括：光學顯微鏡、數碼彩色攝像機（USB 2.0 接口）250 公斤100mm8.大范圍樣品掃描器100um X 100um三、安裝調試及培訓賣方工程師到用戶現場對儀器進行免費安裝、調試。賣方事先向使用單位提供安裝有關要求

4、， 并應從接到用戶通知之日起10 個 工作日內 （節假日除外） 由賣方工程師到達現場并完成安裝、 調試，直到該儀器的技術指標完全符合合同要求為止。賣方工程師在用戶現場對用戶進行免費培訓，直至用戶獨立操作為止。四、售后服務該貨物的保修期為自驗收合格之日起12 個月，或發貨之日起15 個月，先到為準， 保修期內的維修免費，即儀器驗收合格后，整機提供1 年免費服務，對于保修期之后的原件的更換，只收取硬件成本費用及人工成本費。賣方保證在接到用戶的報修通知的4 個小時內做出反應，并采取適當的行動。分包二一、 勻膠機（進口）1臺技術參數1. 支持襯底尺寸： 4” 8”2、最快轉速： 8,000rpm+/-

5、 1rpm (with 8 “chuck)3、轉速設定精度：1rpm4、最快加速度：4000rpm/s5、轉速精度：+/- 1rpm6、滴膠系統：針筒式自動滴膠7、可承受最大光刻膠粘度：5000cp8、厚度均勻性：2% (光刻膠AZ5214E, 1 m, 8 寸圓片 )9、工藝配方管理：可編輯工藝配方，每個工藝配方含有40 步，機器可以存儲工藝配方200個。10、可編程時間設置范圍：1-999 秒11、氮氣環境12、 ERB 去除厚膠邊：包含去除厚膠邊功能13、廢液收集：含一個不小于0.5L 的廢液桶真空泵：包含（壓縮空氣0-6bar,最低真空 -0.7 bar）二、 烘膠機（進口）1 臺技術

6、參數1.支持襯底尺寸： 2” 8”2、熱板范圍：60 - 250° C3、熱板精度：0.5 °C4、加熱功率：達到1000 瓦5、微處理器程控溫度6、可編程加工時間設置范圍：1-999秒7.烤膠方式：圓片和熱板不直接接觸8.烘烤環境：氮氣環境9. 可對 2” 8” 圓片通過 3 點低接觸裝置處理后實現基底自動上升功能10. 不銹鋼安全蓋真空計安裝調試及培訓賣方工程師到用戶現場對烘膠機進行免費安裝、調試。賣方事先向使用單位提供安裝有關要求，并應從接到用戶通知之日起10 個工作日內（節假日除外）由賣方工程師到達現場并完成安裝、 調試，直到該儀器的技術指標完全符合合同要求為止。賣

7、方工程師在用戶現場對用戶進行免費培訓，直至用戶獨立操作為止。售后服務該貨物的保修期為自驗收合格之日起12 個月，保修期內的維修免費，即儀器驗收合格后，整機提供1 年免費服務，對于保修期之后的原件的更換，只收取硬件成本費用及人工成本費。賣方保證在接到用戶的報修通知的4 個小時內做出反應，并采取適當的行動。分包三 激光粒度分布儀1臺功能要求：智能型激光粒度儀，可對以下材料進行測定：（1）各種非金屬粉：如重鈣、輕鈣、滑石粉、高嶺土、石墨、硅灰石、水鎂石、重晶石、云母粉、膨潤土、硅藻土、黏土等。（ 2）各種金屬粉：如鋁粉、鋅粉、鉬粉、鎢粉、鎂粉、銅粉以及稀土金屬粉、合金粉等。（ 3）其它粉體：如催化劑

8、、水泥、磨料、醫藥、農藥、食品、涂料、染料、熒光粉、河流泥沙、陶瓷原料、各種乳濁液等。詳細技術指標：測試范圍： 0.02 m-2000m進樣方式：自動循環泵重復性誤差：1%（標樣 D50 偏差）準確性誤差： 1%（標樣 D50 偏差）測量原理：米氏散射理論軟件運行環境：WinXP / Win7接口方式： RS232(串口 )或 USB 方式光電探測器：90 個超聲波功率： 50W循環池容積：500ml配套電腦：聯想電腦2 臺打印機：惠普（ HP） Laserjet Pro 400 M451nw彩色激光打印機1臺分包四納米粒度分布儀1臺功能及要求：1準確性和重復性：系統的準確性和重復性誤差遠遠小

9、于標準樣品允許的誤差范圍。準確性和重復性的典型誤差均小于 1%。其它各項指標都符合國際標準 ISO-13321 。2、測試速度：1-3分鐘就能完成一次結果可靠的測量。3、溫控系統精確性：溫控精度達到0.2 °C，保證測試結果準確可靠。4、光電倍增管(PMT) 精度：采用進口光電倍增管，暗基數小，靈敏度高，速度快，性能穩定，對每個光子都可以精確識別。5、光子相關器性能：采用大規模集成電路(DSP) 研制的光子相關器，通道多，速度快，能有效識別各種粒徑顆粒產生的光子信號。6、軟件系統功能：軟件系統界面友好、操作簡便，動畫顯示。同時具有多語言功能，可方便地進行多達17種語言轉換；結果報告單

10、可以方便地轉換成Excel 、 word或圖形格式；報告單格式可以任意編輯并可方便地添加用戶信息并設有中文、英文共 12種格式，可以隨時選擇。詳細技術指標：1. 量程范圍： 1-3000 m2. 最大系統放大倍數： 4000 倍。3. 最小分辨率： 0.1 m4. 重復性誤差：中位徑的重復性誤差<3%5. 軟件能夠自動標定顆粒的尺寸，典型標尺，自動分割粘連顆粒，圖像的效果變換，自動分析，具有多幅圖片合并功能及多幅圖片連續自動處理與分析。 能夠測出長徑比， 球形度，及簡單的粒度分析。6. 輸出方式：包括原始參數（包括樣品信息、測試信息）分析數據（包括區間分布、累計分布、平均徑，長徑比以及長

11、徑比分布等）分布圖形（區間分布直方圖和累計分布曲線等）。7. 保修期：免費保修兩年ISO9000 認證， CE認證， FDA認證，要求三證齊全。含計算機 1套分包五圖像顆粒測試儀1臺功能及要求：系統可以圖像法粒度分布測試以及顆粒型貌分析等多功能顆粒分析系統，包括光學顯微鏡、數字 CCD攝像頭、 圖像處理與分析軟件、 電腦、打印機等部分組成。 它有直觀、 形象、準確、測試范圍寬以及自動識別、自動統計、自動標定等特點，不僅可以用來觀察顆粒形貌，還可以得到粒度分布、長徑比等指標，適用研磨材料：金剛石、碳化硅、碳化硼、白剛玉、氧化鈰等；電池材料：球形石墨、鈷酸鋰等；用于驗證其他粒度測試的手段和方法。詳

12、細技術指標：粒度范圍：1nm 9500nm濃度范圍：0.1mg/ml 100mg/ml （與樣品有關）樣品池體積：0.5ml 和 8ml樣品池溫控范圍： 15 45激光源：獨特的進口固體光纖激光器。功率25 mW 波長 635 nm 。自帶溫控系統，輸出更穩定。不得使用其他類型激光器。通過歐盟的 CE認證、 GMP認證、 ISO9001-2008 質量管理體系認證。散射角： 90°檢測器：英國進口的PMT （光電倍增管）數字相關器：200 個物理通道， 1-5uS 動態采樣時間及延遲時間。具有高速和低速2 種模式可選。軟件：一、軟件支持多語言操作界面，可在漢語、英語、法語等十幾種語言

13、之間轉換。也可根據用戶需求進行定制。具有非負最小二乘算法等三種分析模式，適合不同分布的樣品測試需求。具有光強、數量、體積、面積等分布類型。報告單可編輯， 具有中英文等 12 種格式。 表格、分布圖可單獨導出到任意OFFICE辦公軟件當中，方便寫論文、發郵件等。系統支持一鍵還原功能，防止數據、參數設置因意外操作丟失。計算機接口：USB系統軟件：兼容 Windows XP 、 Windows7含計算機和打印機各1套分包六耐氣候實驗箱1 套功能及要求：SN 型氙燈試驗箱采用能摸擬全陽光光譜的氙弧燈來再現不同環境下存在的破壞性光波，可以為科研、 產品開發和質量控制提供相應的環境模擬和加速試驗。SN 型

14、氙燈試驗箱可用于新材料的選擇、改進現有材料或評估材料組成變化后耐用性的變化試驗，可以很好的模擬在不同環境條件下，材料暴露在陽光下所產生的變化詳細技術指標：工作尺寸 D×W×H500×760×500功率 (kw)10.5KW溫度范圍0 80( 可調 )濕度范圍65 98R.H( 可調 )性能指標0 9999 分鐘 ( 可調 )降雨時間降雨周期1240 分鐘，間隔 ( 斷) 可調光譜波長290nm 800nm氙燈總功率9.9 KW( 壽命： 1600 小時 )時間控制器進口可編程時間電腦集成控制器( 金鐘默勒 )精度范圍設定精度： 溫度± 0.1

15、、 濕度± 1 R.H，指示精度： 溫度± 0.1 、濕度± 1 R.H溫濕度運溫濕度傳感鉑金電阻 .PT100 /MV器行控制系統加熱系統全獨立系統，鎳鉻合金電加熱式加熱器加濕系統外置隔離式，全不銹鋼淺表面蒸發式加濕器黑板溫度雙金屬黑板溫度計溫度控制器進口微電腦溫濕度集成控制器循環系統耐溫低噪音空調型電機 . 多葉式離心風輪標準配置防輻射玻璃視窗 1 套、氙燈燈管4 只漏電、短路、超溫、缺水、電機過熱、過電流保護/ 控制器停電記安全保護憶電源電壓AC380V±10 50±0.5Hz三相五線制使用環境溫度5 30 85 R.H分包七高溫馬弗爐1

16、 臺技術參數：爐膛尺寸：爐內溫差：200*200*200 <3 度使用溫度： 1600 度爐體表面溫度：<50 度升溫速度：額定功率：>5 度秒5KW分包八管道窯1 套技術要求一、規格、尺寸設備名稱梯型管道窯（雙管）設備外形尺寸L5600×W800× H0 mm ，爐體尺寸L5000×W700× H700 mm爐膛尺寸 120×3000mm× 2爐口尺寸 105mm×2匣缽尺寸 95mm×130 mm二、技術參數最高溫度1200裝機功率約 16KW保溫功率大約 6kw加熱元件硅碳棒。升溫區廢氣控制

17、升溫區的廢氣排放設計有1 組煙囪，設計2 組進氣孔，安裝一臺引風機。降溫區溫度控制自然降溫爐側外表溫升室溫 50爐膛截面溫度均勻度 ±3三、爐體1爐膛結構爐膛結構1600 氧化鋁高溫纖維板。爐管材料99 氧化鋁剛玉管保溫材料采用全纖維制品，選用：1260 纖維板、纖維棉。2爐體結構窯主架由矩形型材分段焊接窯掛板等由冷軋鋼板沖壓成形，高溫區掛門內側貼反射材料3溫區控溫點布置溫區分布升溫區保溫區降溫區總計長度600mm1000mm3400mm5000mm四、電器控制部分1配電柜電器控制溫度控制柜1 臺（單臺尺寸：900 ×600 ×1700），面板安裝儀表溫控儀、電流

18、表、電壓表、超溫、斷偶顯示輸出功率調整方式0 100% 連續可調（手動、自動轉換）2溫度控制部分名稱型號數量使用范圍備注溫度控制儀表20 1700 廈門伯特熱電偶（ S）WRP2 支0 1500 上海五、推進部分采用液壓推進器，手動、自動轉換；連續可調。分包九 氣相色譜1 套技術參數 1主機11可同時裝氫焰檢測器、熱導檢測器電子捕獲檢測器、氮磷檢測器;1.2儀器共有六個控溫點可進行五階程升控制；進樣器、各檢測器均可獨立控溫;1.3儀器設有兩個進樣口，汽化裝置及獨立的毛細管進樣裝置;1.4儀器具有三個獨立氣路，三個獨立電路系統、三個信號輸出端;柱箱2.1柱箱體積大，可同時安裝三根色譜柱;2.2采

19、用微機控制溫度，人機對話可實時顯示各點溫度;2.3柱柱箱溫度：室溫 ±5400 精度： ±0.1 ;2.4五階程序升溫，各階恒溫時間0-999.0min 。增量 0.lmin溫度增量 0.1 ;檢測器3.1 氫火焰檢測器(FTD)3.1.1敏感度： M 8× 10-12 g/sec(苯)3.1.2線性范圍： 1073.1.3基線漂移： l ×-14A/30min3.1.4 噪聲 ： 5× -1014A3.2 電子捕獲檢測器 (ECD)3.2.1敏感度 M 1× 10-13g/ml(r-666)3.2.2 基流： Io l ×-9A103.2.3基線漂移： 0.02mv/30min3.2.4 噪聲 ： 0.01mv3.2.5線性范圍： >1043.2.6 放射源： Ni633.3 火焰光度檢測器 (FPD)3.3.1敏感度： Mp 2× 10-11g/sec(1605),Ms 5-11g/sec(10×噻吩 )3.3.2基線漂移： 3× -1013A/30min3.3.3 噪聲 ： 2× -1012A3.4 熱導池檢測器 (TCD)3.4.