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文檔簡介

三、磁控濺射 （四）磁控濺射的應用實例-TCO薄膜的制備： 5.靶基距的影響 距離過小 加速不夠 動能過小 薄膜薄、晶化率低 部分粒子不能濺射到基片上 距離過大 散射增大 轟擊過大 薄膜致密性下降 41 謝謝聆聽 Thank You

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