1、PVD 真空鍍膜機作業指導書一.開機唐1.檢查水路是否暢通，確定冷卻塔、激進泵是否正常工作（水壓需達到 0.4Mpa 以上） 。芃 2. 檢查氣路是否暢通，確定空壓機是否正常工作（氣壓需達到0.5Mpa） 。袁 3 開啟電源開關，打開開機 、 維持泵開關，待真空計的熱偶計讀數在10pa 以下時， 打開 擴散泵溫控儀1、2 ， 擴散泵1、 2四個開關。即擴散泵升溫（大約1 小時左右） 。薁 4. 距加熱時間約 10 分鐘左右，開啟低溫捕集器，待6分鐘冷卻時間過后，按F1»啟動低溫捕集器。待溫控儀 上的設定溫度達到時，即可正常生產操作。薅 二生產操作箍1.確定真空室內膜料、離子源燈絲、工

2、件架已按要求放置完畢。蝕 2. 開啟粗抽泵 ，將抽氣手自動檔切換至自動檔，打開自動抽氣開關，待真空室大門吸合即可。蟻 3. 當羅茨泵自動開啟時，按低溫捕集器F2 ，開啟捕集器制冷功能。噩4.此操作應工藝的不同而有較大的變化，此處不一一詳 述，即為口述。蒙5.工藝完成后，關閉電子槍、離子源（必須先歸零燈絲電流，再關電源）等開關，打開自動充氣開關，待精抽閥閉合后，將抽氣手自動檔切換至手動檔（此處必需注意除維持泵、擴散泵、粗抽泵、開機這四個開關是按下去的外，其他開關都不可按下，以免操作失誤造成擴散泵暴露大氣！ ） ，按捕集器F3， 開啟回溫功能， 待低溫捕集器溫度回溫到 30 攝氏度以上，打開充氣閥

3、 ，待真空室門打開，關閉充氣閥 。 （注： 自動抽氣與自動充氣開關嚴禁混淆）董6.以上循環，即為正常操作流程。腿二停機勘1.將真空室門吸合，抽至一定真空，關閉除停機開 關的所有開關。 （注：此停機開關，正常生產中嚴禁開啟）瞧2.待真空鍍膜機冷卻一小時后，方可關閉電源，空壓機， 冷卻塔，激進泵。蒂螈 注：以上所有操作必須嚴格執行，未經允許不可更改，若應操作失誤造成鍍膜機受到損壞，影響等因素，操作員將承擔相應責任。蒲警告 : 本機器有多處高壓變壓器，電壓高達8KV， 為避免安全事故， 未經允許不可開啟電柜 、 真空室下的屏蔽門。以下無正文僅供個人用于學習、研究；不得用于商業用途For person

4、al use only in study and research; not for commercial use.僅供個人用于學習、研究；不得用于商業用途Nur f u r den pers?nlichen f u r Studien, Forschung, zu kommerziellen Zwecken verwendet werden.Pour l ' etude et la recherche uniquementd des fins personnelles; pasd des fins commerciales.僅供個人用于學習、研究；不得用于商業用途tojibko AJiajiioAe ak pTOpwenojib symaisaidyHeHMia c ,n e a o b 團 hhha o ji >k h eiHcnojib3OBaTbCH b KOMMepnecKHx uejia