1、關于含氟電子特種氣體項目申請報告一、項目建設背景電子特種氣體（簡稱電子特氣），是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。雖然電子特氣成本僅占IC材料總成本的56%，但在很大程度上決定了最終產品性能的好壞，因此電子特氣的質量高低成為制約電子行業發展的重要因素。隨著半導體和平板顯示產業向中國大陸轉移的加速，預計電子特氣行業將迎來國產替代的歷史性機遇。全球范圍來看，隨著全球半導體市場規模在2018年的高增長，全球集成電路用電

2、子氣體的市場規模達到45.1億美元，市場規模較上年同比增加了15.9%，但從整體來看，2013-2018年的平均增速稍低，僅為6.3%。國內范圍來看，2018年，我國電子氣體市場規模達到了121.6億元，較上年同比增加了11.2%，2013-2018年的增速達13.3%。目前電子氣體的本土化率較低，國產化市場空間較大。半導體制程過程中用到的83種電子氣體，其中有35%已經實現本土化，還有35%正在本土化，30%還未進行本土化。半導體產業用的7種大宗氣體仍被國外公司壟斷。目前全球電子氣體市場中含氟系列電子氣體約占其總量的30%左右，含氟電子氣體是電子信息材料領域特種電子氣體的重要組成部分，主要用

3、作清洗劑、蝕刻劑，也可用于摻雜劑、成膜材料等。典型的傳統含氟電子氣體包括CF4、C2F6、C3F8、C4F8、C4F6、CHF3、SF6、NF3等，由于傳統含氟氣體大氣壽命和GWP較高，對臭氧層破壞較大，在京都議定書框架內面臨逐步減量甚至禁用，開發新型、安全、環保的含氟電子氣體已成為近年來國內外研究和產業化熱點，目前新型低GWP含氟氣體主要包括COF2、ClF3、F2等。四氟化碳是用量最大的等離子刻蝕氣體。四氟化碳（CF4）又稱四氟甲烷，具有較好的溶氧性，其高純氣及其配高純氧氣的混合氣是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子

4、器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。如果OLED新工藝得到突破，四氟化碳的需求將會顯著增加，2021年大陸四氟化碳需求量將超過3000噸，2025年有望超過8000噸。目前我國半導體工廠的四氟化碳50%來自于日本，國內四氟化碳主要生產廠家包括科美特，華特氣體等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑。六氟化硫廣泛應用于微電子技術領域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。六氟化硫低溫下較易等離子化，含氟原子較多，反應性強，用于預蝕刻步驟中以除去單晶硅上的氧

5、化層。在平板顯示領域，作為清洗劑（等離子源），六氟化硫可用于去除玻璃基板上的沉積層（包括半導體層和氮化硅層）和清洗蝕刻工藝之后的反應腔。由于六氟化硫在鎢的回刻方面有獨特的優勢，雖然蝕刻速度低于四氟化碳，但在集成電路中仍有一定份額。隨下游半導體、電子器件等市場的快速發展，我國電子特氣市場規模不斷增大，特種含氟電子氣體也取得了長足發展。電子級六氟化硫的主要生產企業均集中在中國。三氟化氮是優良的蝕刻劑和清洗劑。在電子工業中,三氟化氮被廣泛應用于集成電路、液晶顯示器、太陽能薄膜和面板電池等的蝕刻和清洗。對于硅和鎢化合物，高純三氟化氮具有優異的蝕刻速率和選擇性，蝕刻時在蝕刻物表面不留任何殘留物，比用碳氟

6、化合物等離子體蝕刻沉積在硅表面的聚合物更少。2018年全球三氟化氮市場用量達到2.83萬噸，預計到2021年全球三氟化氮市場需求量在4萬噸左右。2018年中國大陸三氟化氮市場用量為7405噸，隨著半導體、顯示面板行業生產及消費重心逐漸向中國大陸轉移，加上生產三氟化氮的主要原料均由國內供給，兩頭在內的供應鏈格局決定了三氟化氮生產應用向國內轉移是大勢所趨，預計2021年國內三氟化氮需求將達到近1.6萬噸，占全球約40%，2018-2021年CAGR約28.7%。八氟環丁烷化學性能穩定、無毒無害、溫室效應潛能（GWP）值低、消耗臭氧指數（ODP）值為零，是一種綠色環保型特種氣體。八氟環丁烷的應用范圍

7、非常廣泛，近年來被大量用作制冷劑代替禁用的氯氟烴類化合物，此外也常用于氣體絕緣介質、溶劑、噴霧劑、發泡劑、大規模電路蝕刻劑、熱泵工作流體以及生產C2F4和C3F6單體的原料等。高純八氟環丁烷（5N以上）用于超大規模集成電路蝕刻劑和清洗劑。針對八氟環丁烷的制備和純化，國外研究起步較早，如美國杜邦公司、日本大金工業株式會社、日本昭和電工株式會社、日本旭硝子公司、俄羅斯基洛夫工廠等均已實現工業化生產。近年來隨著我國化學、電子等工業的迅速發展，八氟環丁烷的需求量逐年上升，其制備及純化工藝研究受到了更多的關注，應用前景十分廣闊。二、項目及性質（一）項目名稱含氟電子特種氣體項目（二）項目建設性質本項目屬于

8、新建項目。三、項目建設單位公司以負責任的方式為消費者提供符合法律規定與標準要求的產品。在提供產品的過程中，綜合考慮其對消費者的影響，確保產品安全。積極與消費者溝通，向消費者公開產品安全風險評估結果，努力維護消費者合法權益。公司加大科技創新力度，持續推進產品升級，為行業提供先進適用的解決方案，為社會提供安全、可靠、優質的產品和服務。公司不斷推動企業品牌建設，實施品牌戰略，增強品牌意識，提升品牌管理能力，實現從產品服務經營向品牌經營轉變。公司積極申報注冊國家及本區域著名商標等，加強品牌策劃與設計，豐富品牌內涵，不斷提高自主品牌產品和服務市場份額。推進區域品牌建設，提高區域內企業影響力。公司滿懷信心

9、，發揚“正直、誠信、務實、創新”的企業精神和“追求卓越，回報社會” 的企業宗旨，以優良的產品服務、可靠的質量、一流的服務為客戶提供更多更好的優質產品及服務。公司堅持提升企業素質，即“企業管理水平進一步提高，人力資源結構進一步優化，人員素質進一步提升，安全生產意識和社會責任意識進一步增強，誠信經營水平進一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素質企業員工，企業品牌影響力不斷提升。四、項目建設原則1、機制創新，部門協同。創新管理體制和運營監管機制，強化部門協同，持續推進產業發展，實現可持續發展。2、立足當前，著眼長遠。統籌區域產業發展要求，立足當前產業發展面臨的形勢與突出問題，著眼長遠謀劃，產業建設適

10、度超前，建立更加科學的產業體系。3、堅持創新發展。實施創新驅動發展戰略,突破并推廣關鍵共性技術,加快新產品研發與應用進程,完善標準體系,增強自主創新和品牌建設能力。4、開放融合。樹立全球視野，對標國際先進，把握“一帶一路”重大戰略契機，聚焦產業重點領域，探索發展合作新模式，在全球范圍配置產業鏈、創新鏈和價值鏈，更大范圍、更高層次上參與產業競爭合作，走開放式創新和國際化發展的道路。五、項目建設規模（一）項目建設選址本期項目選址位于xx（以選址意見書為準），占地面積約170畝。項目擬定建設區域地理位置優越，交通便利，規劃電力、給排水、通訊等公用設施條件完備，非常適宜本期項目建設。（二）項目產品及服

11、務規模項目建成后，形成年產xx含氟電子特種氣體的經營能力。（三）建筑物建設規模本期項目建筑面積183321.55，其中：生產工程114566.06，倉儲工程35291.90，行政辦公及生活服務設施20883.63，公共工程12579.96。六、項目方向及定位深入貫徹落實科學發展觀，加快轉變發展方式，立足國內市場需求，以技術創新和創意設計為動力，以品牌建設為重點，延伸產業鏈，注重增值服務，著重提高發展質量和效益，建立產學研用相結合的產業創新聯盟，加快創新發展，加強節能減排與綜合利用，打造創新化、創意化、品牌化、綠色化、信息化產業，促進產業轉型升級，實現可持續發展。七、建設周期12個月。八、總投資

12、及資金構成（一）建設投資估算本期項目建設投資52999.59萬元，包括：工程建設費用、工程建設其他費用和預備費三個部分。1、工程費用工程建設費用包括建筑工程投資（含土地費用）、設備購置費、安裝工程費等；工程建設其他費用包括：建設管理費、勘察設計費、生產準備費、其他前期工作費用，合計46324.57萬元。（1）建筑工程投資估算根據估算，本期項目建筑工程投資為23599.04萬元。（2）設備購置費估算設備購置費的估算是根據國內外制造廠家（商）報價和類似工程設備價格，同時參照機電產品報價手冊和建設項目概算編制辦法及各項概算指標規定的相應要求進行，并考慮必要的運雜費進行估算。本期項目設備購置費為216

13、38.01萬元。（3）安裝工程費估算本期項目安裝工程費為1087.52萬元。2、工程建設其他費用本期項目工程建設其他費用為5363.96萬元。3、預備費本期項目預備費為1311.06萬元。（二）建設期利息按照建設規劃，本期項目建設期為12個月，其中申請銀行貸款21379.52萬元，貸款利率按4.9%進行測算,建設期利息523.80萬元。（三）流動資金流動資金是指項目建成投產后，為進行正常運營，用于購買輔助材料、燃料、支付工資或者其他經營費用等所需的周轉資金。流動資金測算一般采用分項詳細測算法或擴大指標法，根據企業流動資金周轉情況及本項目產品生產特點和項目運營特點，該項目流動資金測算參照同行業流

14、動資產和流動負債的合理周轉天數，采用分項詳細測算法進行測算。根據測算，本期項目流動資金為9772.77萬元。（四）項目總投資本期項目總投資包括建設投資、建設期利息和流動資金。根據謹慎財務估算，項目總投資63296.16萬元，其中：建設投資52999.59萬元，占項目總投資的83.73%；建設期利息523.80萬元，占項目總投資的0.83%；流動資金9772.77萬元，占項目總投資的15.44%。（五）資金籌措與投資計劃本期項目總投資63296.16萬元，其中申請銀行長期貸款21379.52萬元，其余部分由企業自籌。九、投資收益分析（一）經濟評價財務測算1、營業收入估算本期項目正常經營年份預計每

15、年可實現營業收入109600.00萬元。2、正常經營年份增值稅估算根據中華人民共和國增值稅暫行條例的規定和關于全國實施增值稅轉型改革若干問題的通知及相關規定，本期項目正常經營年份應繳納增值稅計算如下：正常經營年份應繳增值稅=銷項稅額-進項稅額=4758.44萬元。3、綜合總成本費用估算本期項目總成本費用主要包括外購原材料費、外購燃料動力費、工資及福利費、修理費、其他費用（其他制造費用、其他管理費用、其他營業費用）、折舊費、攤銷費和利息支出等。本期項目年綜合總成本費用的估算是以產品的綜合總成本費用為基點進行，根據謹慎財務測算，當項目達到正常生產年份時，按正常經營年份經營能力計算，本期項目綜合總成

16、本費用85949.58萬元，其中：可變成本72855.11萬元，固定成本13094.47萬元。正常經營年份項目經營成本82057.39萬元。具體測算數據詳見綜合總成本費用估算表所示。4、稅金及附加本期項目稅金及附加主要包括城市維護建設稅、教育費附加和地方教育附加。根據謹慎財務測算，本期項目正常經營年份應納稅金及附加571.01萬元。5、利潤總額及企業所得稅根據國家有關稅收政策規定，本期項目正常經營年份利潤總額（PFO）：利潤總額=營業收入-綜合總成本費用-稅金及附加=23079.41（萬元）。企業所得稅稅率按25.00%計征，根據規定本期項目應繳納企業所得稅，正常經營年份應納企業所得稅：企業所

17、得稅=應納稅所得額稅率=23079.4125.00%=5769.85（萬元）。6、利潤及利潤分配該項目正常經營年份可實現利潤總額23079.41萬元，繳納企業所得稅5769.85萬元，其正常經營年份凈利潤：凈利潤=正常經營年份利潤總額-企業所得稅=23079.41-5769.85=17309.56（萬元）。（二）項目盈利能力分析1、財務內部收益率（所得稅后）項目財務內部收益率（FIRR），系指項目在整個計算期內各年凈現金流量現值累計為零時的折現率，本期項目財務內部收益率為：財務內部收益率（FIRR）=21.12%。本期項目投資財務內部收益率21.12%，高于行業基準內部收益率，表明本期項目對所

18、占用資金的回收能力要大于同行業占用資金的平均水平，投資使用效率較高。2、財務凈現值（所得稅后）所得稅后財務凈現值（FNPV）系指項目按設定的折現率（采用基準收益率ic=12.00%），計算項目經營期內各年現金流量的現值之和：財務凈現值（FNPV）=22201.55（萬元）。以上計算結果表明，財務凈現值22201.55萬元（大于0），說明本期項目具有較強的盈利能力，在財務上是可以接受的。3、投資回收期（所得稅后）投資回收期是指以項目的凈收益抵償全部投資所需要的時間，是財務上投資回收能力的主要靜態指標；全部投資回收期（Pt）=（累計現金流量開始出現正值年份數）-1+上年累計現金凈流量的絕對值/當年

19、凈現金流量，本期項目投資回收期：投資回收期（Pt）=5.52年。本期項目全部投資回收期5.52年，要小于行業基準投資回收期，說明項目投資回收能力高于同行業的平均水平，這表明項目的投資能夠及時回收，盈利能力較強，故投資風險性相對較小。（三）償債能力分析1、債務資金償還計劃本期項目按照“按月還息，到期還本”的模式償還建設投資借款計算，還款期為10年。借款償還資金來源主要是項目運營期稅后利潤。2、利息備付率測算按照建設項目經濟評價方法與參數（第三版）的規定，利息備付率系指在借款償還期內的息稅前利潤（EBIT）與應付利息（PI）的比值，它從付息資金來源的充裕性角度反映出項目償還債務利息的保障程度，本期

20、項目正常經營年份利息備付率（ICR）為28.54。本期項目實施后各年的利息備付率均高于利息備付率的最低可接受值，說明本期項目建成正常運營后利息償付的保障程度較高。3、償債備付率測算按照建設項目經濟評價方法與參數（第三版）的規定，償債備付率系指在借款償還期內，可用于還本付息的資金（EBITDA-TAX）與應還本付息金額（PD）的比值，它表示可用于還本付息的資金償還借款本金和利息的保障程度，本期項目正常經營年份償債備付率（DSCR）為25.75。根據約定的還款方式對本期項目的計算表明，在項目實施后各年的償債率均高于償債備付率的最低可接受值，說明項目建成后可用于還本付息的資金保障程度較高。十、保障措

21、施(一)拓寬融資渠道鼓勵銀行、擔保機構拓寬產業企業的抵質押品范圍，加強信貸和擔保服務，開發適合產業企業的創新型金融產品。支持符合條件的產業企業通過多層次資本市場發行公司債券或上市融資。鼓勵國內外風險投資、創業投資、股權投資、天使基金等機構投資產業企業。支持設立產業發展基金，引導社會資本投入產業領域。(二)推進科技創新應用發揮科技創新及推廣應用優勢，建立產業創新試驗區，對重點項目給予財政補助，提升自主創新能力，加速科技創新成果轉化應用，帶動產業快速發展。(三)優化產業發展環境引導企業積極履行社會責任，嚴格規范市場秩序。積極發展混合所有制經濟，大力發展民營經濟，進一步增強市場主體活力。(四)推進全

22、行業信息化管理水平的措施主管部門做好行業發展和運行形勢監測分析，及時了解和掌握主要產業產、供、銷、價格、進出口及投資等方面的動態信息，針對突出存在的矛盾和問題，提出有效的政策措施建議。加強行業發展的基礎信息工作，建設包括產業投資發展、生產運行、市場供求和價格、人才、新產品、新裝備等動態信息在內的反映行業發展和運行的數據庫及信息分析系統，為實施行業管理提供信息支撐，為企業經營管理提供信息服務。推動企業構筑信息化平臺，利用信息化技術整合信息資源，實現內部管理運行和商務活動的電子化、網絡化和智能化。通過試點示范，以點帶面，不斷推動企業信息化水平的全面提高。(五)優化產品結構著力延伸產業鏈，提升產業綜

23、合競爭能力。提高產品附加值和技術含量，提升產品檔次。重點發展多功能產品，支撐戰略性新興產業發展。建設投資估算表單位：萬元序號工程費用名稱建筑工程費設備購置費安裝工程費其他費用合計所占比例1工程費用23599.0421638.011087.5246324.5787.41%1.1建筑工程費23599.0423599.0444.53%1.2設備購置費21638.0121638.0140.83%1.3安裝工程費1087.521087.522.05%2工程建設其他費用5363.965363.9610.12%2.1土地出讓金2094.382094.383.95%2.2其他前期費用3269.583269.5

24、86.17%3預備費1311.061311.062.47%3.1基本預備費585.33585.331.10%3.2漲價預備費725.73725.731.37%4建設投資合計52999.59100.00%利潤及利潤分配表單位：萬元序號項目第1年第2年第3年第4年第5年第6年第7年第8年第9年第10年1營業收入65760.0082200.0087680.00109600.00109600.00109600.00109600.00109600.00109600.002稅金及附加316.10411.70443.56571.01571.01571.01571.01571.01571.013總成本費用58

25、449.8268762.2372199.7085949.5885949.5885949.5885949.5885949.5885949.584補貼收入5利潤總額6994.0813026.0715036.7423079.4123079.4123079.4123079.4123079.4123079.416彌補以前年度虧損7應納所得稅額6994.0813026.0715036.7423079.4123079.4123079.4123079.4123079.4123079.418所得稅1748.523256.523759.185769.855769.855769.855769.855769.8557

26、69.859凈利潤5245.569769.5511277.5617309.5617309.5617309.5617309.5617309.5617309.5610期初未分配利潤0.004721.0013041.5021887.1535277.0447327.9458173.7567934.9876720.0911可供分配的利潤5245.5614490.5524319.0639196.7152586.6064637.5075483.3185244.5494029.6512提取法定盈余公積金524.561449.062431.913919.675258.666463.757548.338524.4

27、59402.9613可供投資者分配的利潤4721.0013041.5021887.1535277.0447327.9458173.7567934.9876720.0984626.6814應付優先股股利15提取任意盈余公積金16應付普通股股利17投資方利潤分配18未分配利潤4721.0013041.5021887.1535277.0447327.9458173.7567934.9876720.0984626.6819息稅前利潤9790.2017330.1919843.5229896.8629896.8629896.8629896.8629896.8629896.8620息稅折舊攤銷前利潤12634.7920174.7822688.1132741.4532741.4532741.4532741.4532741.4532741.45項目投資現金流量表單位：萬元序號項目第1年第2年第3年第4年第5年第6年第7年第8年第9年第10年1現金流入0.0065760