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文檔簡介

SEM原理及應用實例 主要內容 SEM工作原理 掃描電鏡是用于檢驗和分析固體微觀結構特的最有用的儀器之一 與透射電鏡的成像方式不同 掃面電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像 由三極電子槍發(fā)射出來的電子束 在加速電壓作用下 經過2 3個電子透鏡聚焦后 在樣品表面按順序逐行進行掃描 激發(fā)樣品產生各種物理信號 如二次電子 背散射電子 吸收電子 X射線 俄歇電子等 這些物理信號的強度隨樣品表面特征而變 它們分別被相應的收集器接受 經放大器按順序 成比例地放大后 送到顯像管成像 得到樣品表面特征圖像 SEM示意圖 SEM特點 可以觀察直徑為10 30mm的大塊試樣 制樣簡單場深大 適用于粗糙表面和斷口的分析 試樣有立體感 易于識別放大倍數(shù)范圍大具有相當?shù)姆直媛士梢酝ㄟ^電子學方法有效的控制和改善圖像質量可進行多種功能的分析可使用加熱 冷卻和拉伸等樣品臺進行動態(tài)試驗 SEM應用實例1 SEM應用實例1 SEM應用實例1 SEM應用實例1 SEM應用實例1 ThankYou

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