浙江省重點行業大氣污染防治績效分級技術指南

電子制造（試行）范圍本文件適用于國民經濟行業分類中規定的電子器件（C397）、電子元件及電子專用材料制造（C398）中涉及有機溶劑、涂料、油墨、稀釋劑、清洗劑、固化劑、膠粘劑等使用的工業企業。規范性引用文件下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T4754國民經濟行業分類GB/T8017石油產品蒸氣壓的測定雷德法GB33372膠粘劑揮發性有機化合物限量GB37822揮發性有機物無組織排放標準GB38507油墨中可揮發性有機化合物(VOCs)含量的限值GB38508清洗劑揮發性有機化合物含量限值HJ1031排污許可證申請與核發技術規范電子工業DB33/T330007設備泄漏揮發性有機物排放控制技術規范《重污染天氣重點行業應急減排措施制定技術指南（2020年修訂版）》《重污染天氣重點行業移動源應急管理技術指南》《重污染天氣重點行業績效分級實施細則》（試行）術語和定義下列術語和定義適用于本文件。密閉指物料不與外界環境空氣接觸，或通過密封材料、密封設備與環境空氣隔離的狀態或作業方式。密閉儲存指將物料儲存于與環境空氣隔離的建（構）筑物、設施、器具內的作業方式。密閉輸送指物料輸送過程與環境空氣隔離的作業方式。密閉空間指利用完整的圍護結構將污染物質、作業場所等與周圍空間阻隔所形成的封閉區域或封閉式建筑物。該封閉區域或封閉式建筑物除人員、車輛、設備、物料進出時，以及依法設立的排氣筒、通風口外，門窗及其他開口（孔）部位應隨時保持關閉狀態。封閉指利用完整的圍護結構將物料、作業場所等與周圍空間阻隔的狀態或作業方式，設置的門窗、蓋板、檢修口等配套設施在非必要時應隨時保持關閉狀態。封閉車間指具有完整圍墻（圍擋）及屋頂結構的建筑物，建筑物的門窗在非必要時應隨時保持關閉狀態。揮發性有機物（VOCs）指參與大氣光化學反應的或者根據有關規定確定的有機化合物。在表征VOCs總體排放情況時,根據行業特征和環境管理要求，可采用總揮發性有機物（TVOC）、非甲烷總烴（NMHC）作為污染物控制項目。非甲烷總烴（NMHC）指采用規定的監測方法氫火焰離子化檢測器有響應的除甲烷外的氣態有機化合物的總和以碳的質量濃度計。無組織排放指大氣污染物不經過排氣筒的無規則排放，包括開放式作業場所逸散，以及通過縫隙、通風口、敞開門窗和類似開口（孔）的排放等。VOCs物料指VOCs質量占比大于等于10%的物料以及有機聚合物材料。本指南中的含VOCs原輔材料、含VOCs產品、含VOCs廢料（渣、液）等術語的含義與VOCs物料相同。揮發性有機液體指任何能向大氣釋放VOCs的符合下列條件之一的有機液體：1.真實蒸氣壓大于等于0.3kPa的單一組分有機液體；2.混合物中，真實蒸氣壓大于等于0.3kPa的組分總質量占比大于等于20%的有機液體。真實蒸氣壓指有機液體工作（儲存）溫度下的飽和蒸氣壓（絕對壓力），或者有機混合物液體氣化率為零時的蒸氣壓，又稱泡點蒸氣壓，可根據GB/T8017等相應測定方法換算得到注:在常溫下工作（儲存）的有機液體，其工作（儲存）溫度按常年的月平均氣溫最大值計算。氣相平衡系統在裝載設施與儲罐之間或儲罐與儲罐之間設置的氣體連通與平衡系統。低氮燃燒技術指采用低氮燃燒器、空氣或燃料分級燃燒、煙氣再循環等方式，減少NOx的產生。減排基數核算以環評批復產能、排污許可載明產能、前一年正常生產實際產量三者日均值的最小值為基準核算。生產工藝及原輔材料生產工藝主要生產工藝電子行業主要有配料、噴涂、涂覆、蝕刻、注塑、復合、印刷、注液、上膠、干燥/固化、清洗、壓制、封口等環節的生產工序。典型生產工藝流程典型生產工藝流程和產排污環節見下圖。典型電子器件生產工藝流程和產排污環節典型電子專用材料生產工藝流程和產排污環節公用單元主要包括鍋爐、廢水處理系統、輔助系統。原輔材料主要原輔材料覆銅板、銅箔、塑料粒子、涂料、刻蝕液、電解液、油墨、鹽酸、稀釋劑、清洗劑、膠粘劑、密封膠、瀝青、封口劑等。主要能源電、天然氣等。主要污染物產排環節及治理措施主要產排污環節VOCs主要來自配料、噴涂、涂覆、復合、印刷、上膠、烘干/干燥/固化、清洗工序，主要來源于涂料、油墨、稀釋劑、清洗劑、膠粘劑等含VOCs原輔材料的使用及揮發逸散。此外，注塑環節也有少量VOCs產生。酸霧主要來自蝕刻、清洗環節鹽酸、硫酸等的使用。顆粒物（PM）主要來自配料、注塑、鍋爐燃燒煙氣排放。NOx、SO2主要來自鍋爐燃燒煙氣排放。主要治理措施電子制造企業主要廢氣排放節點及對應主要治理措施見表1。主要治理措施序號主要排污節點主要污染物主要治理措施1配料PM、VOCs布袋除塵、冷凝+回收法、燃燒法2噴涂VOCs噴淋吸附、濃縮+燃燒、燃燒技術3涂覆、復合、印刷、清洗、上膠VOCs吸附、濃縮+燃燒、燃燒技術4注塑PM、VOCs過濾除塵、吸附法、濃縮+燃燒5烘干/干燥/固化VOCs冷凝回收、燃燒技術6清洗VOCs、HCL、氟化物噴淋吸收+吸附、吸收7蝕刻、電蝕NOx、HCl、氟化物、硫酸霧等堿液噴淋、洗滌吸收績效分級指標電子制造工業績效分級指標見表2。電子制造績效分級指標差異化指標A級企業B級企業C級企業能源全部采用天然氣、電未達到A、B級要求原輔材料1.絲網印刷工藝使用水性油墨（VOCs≤30%）、能量固化油墨（VOCs≤5%）的比例達60%及以上；2.清洗工序使用符合《清洗劑揮發性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）規定的水基或半水基清洗劑含量（<100g/L）產品達30%以上絲網印刷工藝使用水性油墨（VOCs≤30%）、能量固化油墨（VOCs≤5%）的比例達30%及以上未達到A、B級要求揮發性有機液體儲罐1.對儲存物料的真實蒸氣壓≥2.8kPa且儲罐容積≥20m3的有機液體儲罐，應符合以下規定：采用浮頂罐；對于內浮頂罐，浮頂與罐壁之間應采用浸液式密封、機械式鞋形密封等高效密封方式；對于外浮頂罐，浮頂與罐壁之間應采用雙重密封，且一次密封應采用浸液式密封、機械式鞋形密封等高效密封方式；采用固定頂罐并安裝密閉排氣系統；2.符合第1條的固定頂罐排氣采用冷凝+吸附回收、燃燒工藝（包括直接燃燒、催化燃燒和蓄熱燃燒）或送工藝加熱爐、鍋爐、焚燒爐等燃燒處理，處理效率不低于90%1.對儲存物料的真實蒸氣壓≥2.8kPa且儲罐容積≥20m3的有機液體儲罐，應符合以下規定：采用浮頂罐；對于內浮頂罐，浮頂與罐壁之間應采用浸液式密封、機械式鞋形密封等高效密封方式；對于外浮頂罐，浮頂與罐壁之間應采用雙重密封，且一次密封應采用浸液式密封、機械式鞋形密封等高效密封方式；采用固定頂罐并安裝密閉排氣系統；2.符合第1條的固定頂罐排氣采用吸收、吸附、冷凝、膜分離等組合處理工藝，處理效率不低于80%未達到A、B級要求泄漏檢測與修復涉VOCs物料企業按照《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822-2019）、《設備泄漏揮發性有機物排放控制技術規范》（DB33/T330007-2021）相關要求，開展泄漏檢測與修復工作工藝過程1.膠粘劑、涂布液等揮發性有機液體全部采用自動配料系統；2.粉料采用管道或氣力輸送，全部采用自動投料；3.上膠、噴涂、涂覆和清洗工序采用管道輸送、自動上料系統1.膠粘劑、涂布液等揮發性有機液體全部采用自動配料系統；2.粉料采用管道或氣力輸送未達到A、B要求無組織排放1.滿足《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822-2019）特別控制要求；2.清洗劑、涂料、油墨、膠粘劑等VOCs物料密閉儲存，存放于無陽光直射的場所；廢清洗劑、廢涂料、廢油墨、廢膠粘劑等含VOCs的廢物應分類放置于貼有標識的容器內，加蓋密封，存放于無陽光直射的場所；3.調配罐進出料排氣，真空系統排氣進VOCs治理設施；4.配料、涂覆、復合、清洗和印刷工序采用密閉設備；烘箱保持負壓狀態，進出口設置局部集氣罩進行廢氣收集，廢氣全部進VOCs治理設施；5.熱壓機體密閉收集1.滿足《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822-2019）特別控制要求；2.同A級要求；3.配料、涂覆、復合、清洗和印刷在密閉設備或密閉負壓空間內操作，烘箱保持負壓狀態，進出口設置局部集氣罩進行廢氣收集，廢氣全部進VOCs治理設施；4.小料人工投加區應進行密閉，并建設集塵罩；5.熱壓機整體密閉或設置局部集氣罩進行收集滿足《揮發性有機物無組織排放控制標準》（GB37822-2019）特別控制要求污染治理技術1.使用溶劑型物料時，配料、噴涂、涂覆、復合、清洗和印刷等工序含VOCs廢氣采用吸附濃縮+冷凝回收、吸附濃縮+燃燒、燃燒等治理技術，處理效率≥90%；2.使用水性涂料、水性清洗劑（含水性UV）時，當車間或生產設施排氣中非甲烷總烴（NMHC）初始排放速率≥2kg/h時，建設末端治污設施；3.鍋爐采用低氮燃燒技術1.使用溶劑型物料時，配料、噴涂、涂覆、復合、清洗和印刷等工序含VOCs廢氣采用吸附濃縮+冷凝回收、吸附濃縮+燃燒、燃燒等治理技術，處理效率≥80%，年使用量10噸以下的可采用吸附法等技術；2.同A級要求；3.同A級要求未達到A、B要求排放限值1.在連續一年的監測數據中，車間或生產設施排氣筒排放的NMHC<25mg/m3；2.廠區內無組織排放監控點NMHC的小時平均濃度值不超過6mg/m3、任意一次濃度值不超過20mg/m3；3.天然氣鍋爐PM、NOx排放濃度分別不高于10、50mg/m3，基準氧含量3.5%；4.其他各項污染物穩定達到現行排放控制要求，并從嚴地方要求1.在連續一年的監測數據中，車間或生產設施排氣筒排放的NMHC為<40mg/m3；2.廠區內無組織排放監控點NMHC的小時平均濃度值不超過6mg/m3、任意一次濃度值不超過20mg/m3；3.其他各項污染物穩定達到現行排放控制要求，并從嚴地方要求各項污染物穩定達到現行排放控制要求，并從嚴地方要求備注：車間或生產設施排氣筒排放的TVOC濃度限值要求待相應的監測標準發布后執行監測監控水平1.嚴格執行《排污許可證申請與核發技術規范電子工業》排污許可證申請與核發技術規范規定的自行監測管理要求；2.重點排污企業風量大于10000m3/h的主要排放口，有機廢氣排放口安裝NMHC在線監測設施（FID檢測器），自動監控數據保存一年以上；3.安裝DCS系統、儀器儀表等裝置，連續測量并記錄治理設施控制指標溫度、壓力（壓差）、時間和頻率值。再生式活性炭連續自動測量并記錄溫度、再生時間和更換周期；更換式活性炭記錄溫度、更換周期及更換量；數據保存一年以上1.嚴格執行《排污許可證申請與核發技術規范電子工業》排污許可證申請與核發技術規范規定的自行監測管理要求；2.重點排污企業風量大于10000m3/h的主要排放口，有機廢氣排放口安裝NMHC在線監測設施（FID檢測器），自動監控數據保存一年以上；3.安裝DCS系統、PLC系統、儀器儀表等裝置，記錄治理設施主要參數，數據保存一年以上嚴格執行《排污許可證申請與核發技術規范電子工業》排污許可證申請與核發技術規范規定的自行監測管理要求環境管理水平環保檔案齊全：1.環評批復文件；2.排污許可證及季度、年度執行報告；3.竣工驗收文件；4.廢氣治理設施運行管理規程；5.一年內廢氣監測報告臺賬記錄：1.生產設施運行管理信息（生產時間、運行負荷、產品產量等）；2.廢氣污染治理設施運行管理信息（燃燒室溫度、冷凝溫度、過濾材料更換頻次、吸附劑更換頻次、催化劑更換頻次）；3.監測記錄信息（主要污染排放口廢氣排放記錄（手工監測或在線監測）等）；4.主要原輔材料消耗記錄（涂料、膠粘劑、稀釋劑、清洗劑、油墨等VOCs物料使用量、回收量、近一年及以上所用涂料的密度、扣水后VOCs含量、含水率（水性涂料）等信息的檢測報告）；5.燃料（天然氣）消耗記錄未達到A、B級要求人員配置：設置環保部門，配備專職環保人員，并具備相應的環境管理能力未達到A、B級要求運輸方式1.物料公路運輸全部使用達到國五及以上排放標準重型載貨車輛（含燃氣）或新能源車輛；2.廠內運輸車輛全部達到國五及以上排放標準（含燃氣）或使用新能源車輛；3.廠內非道路移動機械全部達到國三及以上排放標準或使用新能源機械1.物料公路運輸使用達到國五及以上排放標準重型載貨車輛（含燃氣）或新能源車輛占比不低于80%，其他車輛達到國四排放標準；2.廠內運輸使用達到國五及以上排放標準車輛（含燃氣）或新能源車輛比例不低于80%，其他車輛達到國四排放標準；3.廠內非道路移動機械使用達到國三及以上排放標準或新能源機械比例不低于80%未達到A、B級要求運輸監管參照《重污染天氣重點行業移動源應急管理技術指南》建立門禁系統和電子臺賬未達到A、B級要求減排措施要求A級企業鼓勵結合實際，自主采取減排措施。B級企業B級企業在污染天氣時應采取以下減排措施：黃色預警期間停止使用國四及以下重型載貨車輛（含燃氣）進行運輸。橙色預警期間使用溶劑型原輔材料的調配、涂覆、噴涂、印刷、烘干、清洗等生產單元限產30%，以生產設備計；停止使用國四及以下重型載貨車輛（含燃氣）進行運輸。紅色預警期間使用溶劑型原輔材料的調配