標準解讀
《YS/T 1123-2016 鉑蒸發料》是一項由中華人民共和國工業和信息化部發布的行業標準,主要針對用于物理氣相沉積(PVD)等工藝中作為蒸發源材料的鉑蒸發料。該標準詳細規定了此類產品的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存等方面的要求。
在技術要求部分,標準明確了鉑蒸發料應達到的具體化學成分指標,包括但不限于純度要求,即鉑含量不得低于某一特定值,并且對可能存在的雜質元素設定了最大允許量。此外,還定義了產品外觀質量標準,如形狀、尺寸及其公差范圍等,確保材料能夠滿足后續加工或使用需求。
對于試驗方法,《YS/T 1123-2016》提供了詳細的檢測流程和技術手段,用以驗證鉑蒸發料是否符合既定的技術規范。這其中包括了化學分析法測定鉑及其他元素含量的方法、物理性能測試項目如密度測量等。
關于檢驗規則方面,本標準確立了一套完整的驗收體系,涵蓋出廠檢驗與型式檢驗兩種類型。其中,出廠檢驗是對每批產品進行的質量控制檢查;而型式檢驗則是在特定條件下執行的更為全面深入的產品性能評估,通常當生產工藝發生重大變更時需要實施。
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- 現行
- 正在執行有效
- 2016-07-11 頒布
- 2017-01-01 實施



文檔簡介
ICS77.150.99
H68
中華人民共和國有色金屬行業標準
YST1123—2016
鉑蒸發料
Evaporatedplatinummaterial
2016-07-11發布2017-01-01實施
中華人民共和國工業和信息化部發布
YST1123—2016
前言
本標準按照給出的規則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口
(SAC/TC243)。
本標準起草單位有研億金新材料有限公司有色金屬技術經濟研究院
:、。
本標準主要起草人張巧霞張濤王興權向磊萬小勇賀昕張玉利王越王永輝賈存鋒
:、、、、、、、、、。
Ⅰ
YST1123—2016
鉑蒸發料
1范圍
本標準規定了鉑蒸發料的要求試驗方法檢驗規則標志包裝運輸貯存質量證明書及訂貨單
、、、、、、、
或合同內容
()。
本標準適用于半導體行業用的鉑蒸發料
。
2規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
海綿鉑
GB/T1419—2004
計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃
GB/T2828.11:(AQL)
貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法
GB/T15077—2008
3要求
3.1產品分類
3.1.1產品按照化學成分分為兩個牌號
IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。
3.1.2產品主要分為片狀柱狀如圖所示產品形狀定義及供貨狀態應符合表的要求需方有
、,1。、1,
其他要求時由供需雙方協商解決
。
說明
:
A長度L長度
———;———;
B寬度D直徑
———;———。
C厚度
———;
圖1鉑蒸發料示意圖
表1鉑蒸發料分類
形狀定義供貨狀態
片狀厚度為長度為寬度為的片材
0.5mm~5mm,5mm~20mm,5mm~20mm加工態
柱狀直徑為
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