標準解讀

《YS/T 1031-2015 化學氣相沉積爐》是一項針對化學氣相沉積（CVD）設備的標準，由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口。該標準主要適用于使用化學氣相沉積方法進行材料制備或表面處理的工業用爐的設計、制造及驗收過程。

根據此標準，化學氣相沉積爐應具備良好的密封性能以確保反應氣體在控制條件下參與反應；同時，對于溫度控制系統也有嚴格要求，需能夠實現均勻加熱且溫度波動小，保證沉積過程中的溫度穩定性。此外，還規定了安全防護措施、電氣控制系統以及操作界面等方面的具體要求，旨在提高設備的安全性與易用性。

在材料選擇上，《YS/T 1031-2015》強調了耐腐蝕性和高溫強度的重要性，指出用于構建爐體及其內部組件的材料必須能夠承受長時間高溫環境下的工作條件而不發生顯著變形或損壞。同時，考慮到不同應用場景下可能存在的特殊需求，標準中也允許通過協商確定某些特定參數值。


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  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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文檔簡介

ICS77180

H91.

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T1031—2015

化學氣相沉積爐

Chemicalvapordepositionfurnace

2015-04-30發布2015-10-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YS/T1031—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位湖南頂立科技有限公司中國有色金屬工業標準計量質量研究所

:、。

本標準主要起草人戴煜胡祥龍胡高健羊建高馬衛東戴曉蕾周岳兵吳艷華

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1031—2015

化學氣相沉積爐

1范圍

本標準規定了化學氣相沉積爐的要求試驗方法檢驗規則及標志包裝運輸貯存質量證明書和

、、、、、、

合同或訂貨單內容

()。

本標準適用于化學氣相沉積

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術術語

GB/T3163—2007

電熱裝置的安全第部分通用要求

GB5959.11:

電熱裝置的安全第部分對電阻加熱裝置的特殊要求

GB5959.44:

電熱設備的試驗方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

電熱設備的試驗方法第部分間接電阻爐

GB/T10066.4—20044:

電熱裝置基本技術條件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

電熱裝置基本技術條件第部分間接電阻爐

GB/T10067.4—20054:

真空技術真空燒結爐

JB/T10550—2006

真空脫脂燒結爐

YS/T778—2011

3術語和定義

界定的術語和定

GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011

義適用于本文件

。

4要求

41分類

.

化學氣相沉積爐根據結構形式分為臥式化學氣相沉積爐和立式化學氣相沉積爐兩種類型按爐型

,

及工作區域尺寸分為種型號見表和表

13,12。

42型號表示規則

.

421臥式化學氣相沉積爐的型號表示

..

臥式化學氣相沉積爐的型號表示由其中表示臥式表示化學氣相沉積和工作區

HCVD(H;CVD)

域尺寸寬高長組成其型號表示見示例

(××),。

示例臥式化學氣相沉積爐工作區域尺寸為寬高長其型號表示為

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