標準解讀
《GB/T 31469-2015 半導體材料切削液》是一項國家標準,主要針對用于半導體材料加工過程中的切削液進行規范。該標準詳細規定了切削液的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內容。
技術要求部分明確了切削液應具備的基本性能指標,包括但不限于pH值范圍、腐蝕性測試結果、防銹性能等關鍵參數,旨在確保其能夠有效保護工具與工件表面的同時,不影響后續工序的正常進行。此外,還特別強調了環保及安全衛生方面的要求,如生物降解度、皮膚刺激性等。
在試驗方法章節中,列舉了一系列科學嚴謹的方法來測定上述各項性能指標,比如通過特定條件下的浸泡實驗評估防銹能力;利用精密儀器測量液體的物理化學性質等。這些方法為生產廠家提供了統一的操作指南,有助于保證檢測結果的一致性和可靠性。
關于檢驗規則,則具體指出了產品出廠前需經過哪些項目的檢查,并且根據不合格項目的重要程度將其分為A類(嚴重)、B類(較重)兩種等級,分別對應不同的處理措施。同時,也規定了當用戶對產品質量產生疑問時,雙方可依據本標準共同協商解決爭議的具體步驟。
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....
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- 正在執行有效
- 2015-05-15 頒布
- 2016-01-01 實施




文檔簡介
ICS31030
L90-
中華人民共和國國家標準
GB/T31469—2015
半導體材料切削液
Semiconductormaterialscuttingfluid
2015-05-15發布2016-01-01實施
中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布
中國國家標準化管理委員會
GB/T31469—2015
目次
前言
…………………………Ⅰ
范圍
1………………………1
規范性引用文件
2…………………………1
技術要求
3…………………1
試驗方法
4…………………2
檢驗規則
5…………………2
標志包裝儲存及運輸
6、、…………………3
GB/T31469—2015
前言
本標準按照給出的規則起草
GB/T1.1—2009。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口
(SAC/TC203)。
本標準起草單位揚州華裕光伏材料有限公司西安飛訊光電有限公司揚州市職業大學東方電氣
:、、、
集團峨嵋半導體材料有限公司中國電子技術標準化研究院
、。
本標準起草人繆德俊徐蓉艷繆立山彭新玲丁浩郭倩蒲學軍王香
:、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T31469—2015
半導體材料切削液
1范圍
本標準規定了半導體材料切削液的各項技術要求試驗方法檢驗規則標志包裝儲存及運輸等
、、、、、
要求
。
本標準適用于半導體材料線切割加工采用的切削液
。
2規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
化學試劑標準滴定溶液的制備
GB/T601
化學試劑試驗方法中所用制劑及制品的制備
GB/T603
液體化學產品顏色測定法單位鉑鈷色號
GB/T3143(Hazen———-)
化工產品密度相對密度的測定
GB/T4472—2011、
表面活性劑水溶液值的測定電位法
GB/T6368pH
化工產品采樣總則
GB/T6678
液體化工產品采樣通則
GB/T6680
分析實驗室用水規格和試驗方法
GB/T6682—2008
數值修約規則與極限數值的表示和判定
GB/T8170
粘度測量方法
GB/T10247
表面活性劑含水量的測定
GB/T11275
電子級水
GB/T11446.1
液態烴類電導率測定法
GB/T12582
化學試劑包裝及標志
GB/T15346—2012
3技術要求
半導體材料切削液技術要求應符合表規定
1。
表1半導體及太陽能級晶體材料線切割用切削液要求
要求
項目
型型型
ⅠⅡⅢ
外觀無色或微黃透明液體
粘度
≤4040~52≥5
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