標準解讀

《GB/T 31353-2014 藍寶石襯底片彎曲度測試方法》是一項國家標準，旨在規定藍寶石襯底片的彎曲度測量的具體步驟與要求。該標準適用于直徑在2英寸至8英寸范圍內的圓形藍寶石襯底片以及邊長不超過8英寸的方形或矩形藍寶石襯底片的彎曲度檢測。

根據此標準，首先需要準備符合規格要求的待測樣品，并確保其表面清潔無污染。測試過程中使用的是三點支撐法來測定襯底片的最大偏離值，即通過放置于特定距離上的兩個平行支撐點之間并讓第三個接觸點輕輕觸碰樣品中間部位的方式來進行。為了保證結果準確性，整個操作應在溫度穩定且潔凈度較高的環境中進行。

對于數據處理部分，《GB/T 31353-2014》詳細說明了如何計算彎曲度數值的方法：先記錄下每個位置上測量得到的最大偏移量，然后取這些數值中的最大值作為最終的彎曲度結果。此外，還提供了關于重復性和再現性指標的要求，以確保不同實驗室間能夠獲得一致可靠的測試結果。

按照本標準執行時還需注意以下幾點：

  • 所有用于測量的工具和設備都必須經過校準，并保持良好的工作狀態。
  • 測試前應仔細檢查樣品是否存在裂紋或其他可能影響測試結果的缺陷。
  • 每次更換新的樣品或者調整支撐點間距后，都需要重新校正儀器設置。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2014-12-31 頒布
  • 2015-09-01 實施
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GB/T 31353-2014藍寶石襯底片彎曲度測試方法_第1頁
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文檔簡介

ICS7704099

H21..

中華人民共和國國家標準

GB/T31353—2014

藍寶石襯底片彎曲度測試方法

Testmethodsforbowofsapphiresubstrates

2014-12-31發布2015-09-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T31353—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會和全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位江蘇協鑫軟控設備科技發展有限公司中國科學院上海光學精密機械研究所

:、、

北京合能陽光新能源技術有限公司

。

本標準主要起草人薛抗美魏明德黃修康杭寅林清香肖宗杰

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31353—2014

藍寶石襯底片彎曲度測試方法

1范圍

本標準規定了藍寶石切割片研磨片拋光片以下簡稱藍寶石襯底片彎曲度的測試方法

、、()。

本標準適用于直徑厚度為不小于的藍寶石襯底片彎曲度的測試

50.8mm~304.8mm,200μm。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

硅片彎曲度測試方法

GB/T6619

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

彎曲度bow

自由無夾持晶片中位面的中心點與中位面基準平面間的偏離

。

32

.

中位面基準平面mediansurfacereferenceplane

由指定的小于晶片標稱直徑的直徑圓周上的個等距離點決定的平面

3。

4方法提要

41接觸式測試

.

將藍寶石襯底片放置在基準環的個支點上支點形成一個基準平面利用低壓力位移指示器測

3,3,

試藍寶石襯底片中心點偏離基準平面的距離翻轉襯底片重復測試兩次測試值之差的一半表示襯底

,,。

片的彎曲度

。

42非接觸式測試

.

將藍寶石襯底片放置在基準環的個支點上個支點形成一個基準平面利用非接觸式位移傳感

3,3,

器測試藍寶石襯底片中心點偏離基準平面的距離翻轉襯底片重復測試兩次測試值之差的一半表示

,,。

襯底片的彎曲度

。

43白光干涉式測試

.

激光照射藍寶石襯底片表面光經過反射相互疊加干涉干涉圖經光學成像系統記錄開始高低形

,,,

貌測試物鏡在軸方向上不斷微小的移動在每個移動位置上光學成像系統進行拍照收集

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