標準解讀

《GB/T 30857-2014 藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法》是一項國家標準，旨在規定藍寶石襯底片的厚度及其變化的測量方法。該標準適用于直徑不大于300mm、厚度范圍在10μm至2mm之間的藍寶石襯底片。

根據此標準，對于藍寶石襯底片的厚度測量主要采用接觸式和非接觸式兩種方式。接觸式測量通常使用千分尺等工具直接對樣品進行測量；而非接觸式則包括但不限于激光干涉法、白光干涉法等光學技術手段，這些方法能夠提供更高的精度，并且不會因為物理接觸而可能損傷樣品表面。選擇哪種方法取決于具體的應用場景以及所需的測量精度。

針對厚度變化（也稱為平面度或翹曲）的評估，《GB/T 30857-2014》推薦了基于光學原理的技術，如利用激光掃描來獲得整個襯底面上的高度分布圖，進而分析其平坦程度或形變情況。此外，還提出了關于如何正確設置實驗條件、處理數據等方面的具體指導原則，確保不同實驗室之間結果的一致性和可比性。

該文件詳細描述了測試前準備工作的步驟，比如清洗樣品表面以去除雜質，確保測量區域干凈無損；同時明確了記錄與報告要求，包括但不限于原始數據記錄格式、計算公式應用示例等內容，幫助使用者更好地理解和執行相關操作流程。通過遵循本標準所列的各項指南，可以有效提高藍寶石襯底材料質量控制水平，促進半導體及相關行業的發展。


如需獲取更多詳盡信息，請直接參考下方經官方授權發布的權威標準文檔。

....

查看全部

  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2014-07-24 頒布
  • 2015-04-01 實施
?正版授權
GB/T 30857-2014藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法_第1頁
GB/T 30857-2014藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法_第2頁
GB/T 30857-2014藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法_第3頁
免費預覽已結束，剩余5頁可下載查看

下載本文檔

GB/T 30857-2014藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法-免費下載試讀頁

文檔簡介

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標準

GB/T30857—2014

藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

Standardtestmethodforthicknessandthicknessvariationonsapphiresubstrates

2014-07-24發布2015-04-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30857—2014

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會及材料分技術委員會

(SAC/TC203)(SAC/TC

共同提出并歸口

203/SC2)。

本標準主要起草單位協鑫光電科技控股有限公司中國科學院上海光機所浙江昀豐新能源科技

:、、

有限公司

。

本標準主要起草人魏明德黃朝暉劉逸楓杭寅徐永亮

:、、、、。

Ⅰ

GB/T30857—2014

藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法

1范圍

本標準規定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍寶石單晶切割片研磨片拋光片簡稱襯底

、、(

片厚度和厚度變化是否滿足標準限度要求的測試方法

)。

本標準適用于藍寶石襯底片厚度及厚度變化的測試

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導體材料術語

GB/T14264

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

5點厚度變化5pointsthicknessvariation

TV5

襯底片上特定個點的厚度測量值中的最大厚度與最小厚度的差值稱為襯底片的點厚度變化

55。

4方法概述

41分立點式測量

.

在襯底片中心點和距邊圓周上的個對稱位置點見圖測量襯底片厚度中心點厚度作為

2mm4(1)。

襯底片的標稱厚度個厚度測量值中的最大厚度與最小厚度的差值即為襯底片的點厚度變化

。55。

說明

:

距圓邊

1、4、5———2mm;

中心點

2———;

距平邊

3———2mm。

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用，未經授權，嚴禁復制、發行、匯編、翻譯或網絡傳播等，侵權必究。
  • 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本（可閱讀打印），因數字商品的特殊性，一經售出，不提供退換貨服務。
  • 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致，所以下載的文檔中可能包含空白頁，非文檔質量問題。

評論

0/150

提交評論